行業(yè)應(yīng)用

金剛石CVD

中國(guó)是高溫高壓合成金剛石的最大生產(chǎn)國(guó),近些年來(lái)中國(guó)已開(kāi)始利用高溫高壓六面頂壓機(jī)大量生長(zhǎng)出無(wú)色的首飾用合成鉆石。但CVD氣相沉積法在未來(lái)將會(huì)是主要的生產(chǎn)方法。現(xiàn)在技術(shù)、成本、市場(chǎng)均已成熟,但由于生產(chǎn)、銷售各種條件的不穩(wěn)定,對(duì)合成鉆石產(chǎn)品的產(chǎn)銷會(huì)產(chǎn)生極大困擾。



Parker Balston氫氣發(fā)生器

通過(guò)使用自主研發(fā)的質(zhì)子交換膜和鈀純化模塊技術(shù),能夠提供比市場(chǎng)上的超高純度氫氣。



化學(xué)氣相沉積CVD法生長(zhǎng)多晶金剛石膜,在1980年代中期問(wèn)世。單晶CVD金剛石在1990年代末開(kāi)始有人研發(fā),至2000年代初,元素六、卡耐基、阿波羅等公司生長(zhǎng)成功,但未能形成市場(chǎng)銷售。直到2012年初,由新加坡的IIa公司將微波等離子體化學(xué)氣相沉積法生長(zhǎng)出的無(wú)色高品貭從小鉆到克拉級(jí)的首飾鉆石商品化其售價(jià)為同級(jí)天然鉆石的2/3~1/2甚至至1/3,未來(lái)則會(huì)更低,這顯然對(duì)天然鉆石市場(chǎng)造成了巨大震撼。并且值得一提的是,實(shí)際上,單晶首飾鉆石只是CVD功能的一小部分,大面積4~8英寸直徑的單晶、多晶金剛石在聲、光、化、電、熱、醫(yī)方面則有更多、更重要的用途。

目前主流的化學(xué)氣相沉積法制備金剛石是其中的微波等離子法,即MPCVD法。生長(zhǎng)金剛石的主要原料氣為甲烷、氫氣,其中氫氣流量一般在300-500ml/min 。但在沉積過(guò)程中由于氣體雜種中的氮,硼等元素會(huì)直接導(dǎo)致生長(zhǎng)出的金剛石顏色會(huì)產(chǎn)生偏黃,偏藍(lán)等顏色,因此各大CVD法培育金剛石生產(chǎn)商都會(huì)重點(diǎn)關(guān)注沉積過(guò)程中氣體的純度。而在這方面Parker Balston系列(波士頓)氫氣發(fā)生器通過(guò)使用自主研發(fā)的鈀金屬純化器高效去除氮的成分,是真正的符合CVD鉆石工藝所需要的超高純度的無(wú)氮?dú)錃狻?br/>

通過(guò)鈀膜技術(shù),Parker Balston氫氣發(fā)生器所產(chǎn)出的氫氣純度可以達(dá)到99.99999+%,其中含氮量低的特點(diǎn)更是達(dá)到了ppb級(jí)別,這些優(yōu)點(diǎn)是沒(méi)有鈀純化的制氫機(jī)所無(wú)法做到的,該制氫機(jī)最大流量1300ml/min,可以做到一臺(tái)發(fā)生器同時(shí)提供給兩臺(tái)MPCVD設(shè)備的同時(shí)并保證了金剛石生長(zhǎng)的純凈度。

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